應(yīng)用范圍：8寸、12寸集成電路產(chǎn)品。

特點(diǎn)：
完全自主設(shè)計(jì)的傳送機(jī)構(gòu)，設(shè)備精度和生產(chǎn)效率達(dá)到世界先進(jìn)水平。
精度可達(dá)±15μm。

UPH > 18K/H。